[发明专利]一种用于高温下卷绕沉积薄膜的通电加热装置

摘要

本发明涉及高温下薄膜沉积制备的领域，具体涉及一种用于高温下卷绕沉积薄膜的通电加热装置。本发明重新设计了电极轮盘组；金属基带置于电极轮盘的绝缘滚筒上穿过各对电极棒间，并与各对电极棒良好接触；绝缘滚筒对金属基带的支撑作用使得金属基带不会被电极棒夹持受力的情况下发生形变，保证了其产品的后期应用；轴承使金属基带与绝缘滚筒间没有相对摩擦，以免损伤金属基带表面；绝缘滚筒与金属基带直接贴合接触，随着金属基带的移动而滚动，完成连续卷绕的过程。本发明适用于各种金属衬底的加热，且升温速率高，且温度分布均匀，能效高，同时可实现多层薄膜的连续卷绕制备。

主权项

1.一种用于高温下卷绕沉积薄膜的通电加热装置，其特征在于：包括安装在真空腔体中的正负电极轮盘、薄膜沉积区、外接电源和两个卷绕盘；金属基带从一个卷绕盘牵引至一个电极轮盘，经薄膜沉积区镀膜后，被牵引至另一个电极轮盘，最后通过另一个卷绕盘收集，外接电源提供电极轮盘的加热电流；所述电极轮盘由电极组、固定盘、绝缘滚筒和轴承构成；加热电流通过电极组逐渐从基带两侧的边缘导入到金属基带内部，并在位于薄膜沉积区中的金属基带上流动，因基带自身电阻产生的焦耳热达到薄膜生长所需的温度，同时通过另一相同结构的电极组流出，形成一个完整的电流通路；电极组由金属弹片、电极棒和分流电阻组成；固定盘用于安装整个电极组、轴承和绝缘滚筒，为绝缘材料；轴承用于满足金属基带卷绕镀膜的要求，并使金属基带与绝缘滚筒间没有相对摩擦，以免损伤金属基带表面；绝缘滚筒与金属基带直接贴合接触，随着金属基带的移动而滚动，完成连续卷绕的过程；电极组由同侧等间距并对称安装于固定盘两侧的金属弹片构成；其上端固定有电极棒，各对电极棒相互间实现电连接，并且接入外电路；金属基带置于绝缘滚筒上穿过各对电极棒间；金属基带的宽度与滚轮的宽度大小相适应并与各对电极棒良好接触，其两侧边缘与电极棒因相互压力作用而形成良好的接触。