[发明专利]一种测量龙虾眼透镜方孔通道倾角的装置和方法

摘要

本发明公开了一种测量龙虾眼透镜方孔通道倾角的装置和方法，首先通过六维精密装置台和激光发生器将X射线光源、MPO透镜及SDD探测器调整为一个共轴光学系统。其次所述X射线光管发出的X射线束，经所述光阑A和光阑B约束为准平行X射线束照射到所述MPO透镜上。再通过六维精密装置台调整MPO透镜的状态使得SDD探测器计数最大，此时MPO透镜方孔通道的倾角即为精密台旋转的角度。对MPO的位置进行二维扫描，记录不同位置处的MPO透镜方孔通道倾角。本发明操作简单，测量精度高，可实现对MPO透镜倾角的快速检测，准确获取不同位置处通道倾角信息，有助于指导工艺和发现质量问题。

主权项

1.一种测量龙虾眼透镜方孔通道倾角的装置，其特征在于：包括沿光路依次设置的X射线光源、激光发生器、光阑A、光阑B、MPO透镜以及SDD探测器，其中，所述激光发生器位于X射线光源下方，并且朝向所述X射线光源的方向，用于向X射线光源提供激光束；所述X射线光源用于向MPO透镜发射X射线束；所述光阑A、光阑B设置于发射光路中，所述光阑A用于减少X射线光源出射光子的发散角，所述光阑B用于限束和准直；所述MPO透镜设置于发射光路中，用于汇聚X射线光源所发出的X射线；所述SDD探测器设置于MPO透镜的焦距处，用于收集穿透MPO透镜的X射线并成像；所述X射线光源、光阑A、光阑B、MPO透镜以及SDD探测器的中心共轴且对应齐平；所述X射线光源的点光源到MPO透镜的距离S，等于SDD探测器到MPO透镜的距离f；所述MPO透镜放置于六维精密装置台上，转动所述六维精密装置台调节MPO透镜的方孔通道的倾角。