[发明专利]靶材溅镀面粗糙度加工方法在审
| 申请号： | 201810806850.9 | 申请日： | 2018-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN110735118A | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 友矿材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 32260 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 张欢勇 |
| 地址： | 中国台湾新竹县竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明揭露一种靶材溅镀面粗糙度加工方法，用以于靶材上形成所需粗糙度的表面。首先，取一靶材并确认溅镀加工区，且对非加工区进行遮护，并对加工区进行喷砂及涂层处理，再以擦拭方式清洁靶材。藉由上述方法于靶材默认位置的表面，加工出平均粗糙度(Ra)18～20微米(μm)、均匀度在10％以下的粗糙面，并且令靶材整体洁净度需符合无尘室规范(美规209e)中class1000等级要求，让靶材于后续溅镀制程中，提供一优良的附着面。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 加工区 溅镀 粗糙度加工 平均粗糙度 等级要求 默认位置 涂层处理 粗糙度 粗糙面 附着面 洁净度 均匀度 无尘室 美规 喷砂 遮护 制程 擦拭 清洁 加工 | ||
【主权项】：
1.一种靶材溅镀面粗糙度加工方法，其特征在于，包括；/n(a)取一靶材，并确认靶材上欲进行溅镀的一加工区，与不作溅镀的一非加工区；/n(b)利用一胶带包覆非加工区；/n(c)以一砂材对加工区进行喷砂处理，使加工区表面形成平均粗糙度(Ra)4～6微米(μm)，且均匀度在10％以下的粗糙面；/n(d)以一钼涂层材对该加工区进行喷涂，使加工区表面形成平均粗糙度(Ra)18～20微米(μm)，且均匀度在10％以下的粗糙面；/n(e)将胶带去除并配合一擦拭件，对靶材进行擦拭至靶材洁净度符合无尘级数class1000的要求。/n
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