[发明专利]一次可编程单元及集成有一次可编程单元的半导体器件在审
| 申请号: | 201810805365.X | 申请日: | 2018-07-20 |
| 公开(公告)号: | CN110739293A | 公开(公告)日: | 2020-01-31 |
| 发明(设计)人: | 金兴成;高淑荣 | 申请(专利权)人: | 无锡华润微电子有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/525 | 分类号: | H01L23/525 |
| 代理公司: | 44224 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人: | 邓云鹏 |
| 地址: | 214135 江苏省无锡市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本发明涉及一种一次可编程单元及集成有一次可编程单元的半导体器件,所述一次可编程单元包括:第一电极,包括相对的第一表面和第二表面;第二电极,包括相对的第一表面和第二表面,所述第一电极的第二表面与所述第二电极的第一表面相对;可编程介质层,设于所述第一电极的第二表面与所述第二电极的第一表面之间,且与所述第二电极的第一表面相接触;绝缘介质层,设于所述可编程介质层与所述第一电极之间,且形成有开口,所述可编程介质层穿过所述开口与所述第一电极的第二表面相接触。本发明减小了一次可编程单元在辐照环境下的“辐照接受面”,防止一次可编程单元在辐照环境下形成漏电通道,甚至造成误编程。 | ||
| 搜索关键词: | 一次可编程单元 第二表面 第一表面 第一电极 第二电极 介质层 可编程 辐照环境 开口 半导体器件 绝缘介质层 漏电通道 辐照 接受面 减小 编程 穿过 | ||
【主权项】:
1.一种一次可编程单元,其特征在于,包括:/n第一电极,包括相对的第一表面和第二表面;/n第二电极,包括相对的第一表面和第二表面,所述第一电极的第二表面与所述第二电极的第一表面相对;/n可编程介质层,设于所述第一电极的第二表面与所述第二电极的第一表面之间,且与所述第二电极的第一表面相接触;/n绝缘介质层,设于所述可编程介质层与所述第一电极之间,且形成有开口,所述可编程介质层穿过所述开口与所述第一电极的第二表面相接触;其中,所述第二电极和第一电极为导电材料,且所述可编程介质层为当通过的电流达到阈值电流时会与接触的所述第二电极和第一电极的至少部分发生合金化、从而阻值变小的材料。/n
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