[发明专利]一种柔性电阻式压力传感器阵列及其制备方法在审
| 申请号： | 201810804150.6 | 申请日： | 2018-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN108871629A | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 蔡民;杜以朴;宋吉舟;聂爽;王成军;张顺;岑诺;钟雯祎;邓四维 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01L1/20 | 分类号： | G01L1/20;G01L9/00 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 胡红娟 |
| 地址： | 310013 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性电阻式压力传感器阵列及其制备方法，其中柔性电阻式压力传感器阵列包括表面封装层、电极层和功能层，电极层包括基层薄膜以及基层薄膜上的若干条等距排列的薄膜金属线，薄膜金属线连接有多路选通器；所述功能层为表面带有凸起微结构的柔性弹性薄膜，柔性弹性薄膜覆盖有若干条等距排列的导电金属线，导电金属线连接有运算放大器；电极层的薄膜金属线和功能层的导电金属线以垂直交叉的方式叠合装配。本发明的压力传感器阵列具有高灵敏度、快速响应与恢复、低工作电压、大阵列规模、简单制备工艺和低成本等一系列优点。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器阵列 导电金属线 薄膜金属 柔性电阻 电极层 功能层 等距排列 基层薄膜 柔性弹性 制备 低工作电压 多路选通器 运算放大器 薄膜覆盖 表面封装 垂直交叉 叠合装配 高灵敏度 快速响应 阵列规模 制备工艺 低成本 微结构 线连接 凸起 薄膜 恢复 | ||
【主权项】：
1.一种柔性电阻式压力传感器阵列，包括表面封装层、电极层和功能层，其特征在于，所述电极层包括基层薄膜以及基层薄膜上的若干条等距排列的薄膜金属线，所述薄膜金属线连接有多路选通器；所述功能层为表面带有凸起微结构的柔性弹性薄膜，所述柔性弹性薄膜覆盖有若干条等距排列的导电金属线，所述导电金属线连接有运算放大器；所述电极层的薄膜金属线和功能层的导电金属线以垂直交叉的方式叠合装配。
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