[发明专利]一种TiAlSiN涂层刀具制备工艺有效
| 申请号： | 201810789812.7 | 申请日： | 2018-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN108977775B | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 黄雷;洪东波;李超;袁军堂;汪振华 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/06 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 邹伟红 |
| 地址： | 210094 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种TiAlSiN涂层刀具的制备工艺，基底材料为YG8硬质合金刀具。制备过程包括材料前处理，抽真空与升温，基体清洗，沉积TiAlSiN涂层，冷却出炉。TiAlSi合金靶作为靶材，使用多弧离子镀的方法，电弧在低压下放电，产生高温使阴极TiAlSi靶材蒸发并产生等离子体，然后与N |
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| 搜索关键词： | 一种 tialsin 涂层 刀具 制备 工艺 | ||
【主权项】：
1.一种TiAlSiN涂层刀具制备工艺，其特征在于，该工艺为：选用TiAlSi合金靶作为靶材，使用多弧离子镀方法，与氮气发生反应在YG8硬质合金刀具表面沉积TiAlSiN涂层。
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