[发明专利]一种磁控溅射织物样品夹持器有效
| 申请号： | 201810780477.4 | 申请日： | 2018-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN108707872B | 公开（公告）日： | 2023-10-17 |
| 发明（设计）人： | 黄美林;杜文琴;巫莹柱;叶丽华;任永聪;林雪莹;王晓如;梁竞鹏 | 申请（专利权）人： | 五邑大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 谭晓欣 |
| 地址： | 529000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种磁控溅射织物样品夹持器，包括固定架、样品盘和样品夹紧圈；固定架包括底架、左挡块、右挡块、后挡块、左弹性片和右弹性片，底架设有U型槽，所述左挡块、右挡块、后挡块与底架形成用于容置样品盘的固定腔，所述样品盘通过U型槽可拆卸安装在固定腔内；所述左弹性片和右弹性片对应设置于左挡块和右挡块的内侧靠近U型槽的位置；样品盘设有一圆形凹槽，样品夹紧圈弹性安装在样品盘的圆形凹槽里。本发明的夹持器能夹持住一定大小的圆形织物样品，样品均匀受力使表面平整，样品正面向下受溅射作用而镀膜，解决了现在技术的样品夹持不牢而掉落、柔性样品表面不平整等的不足，样品夹持牢固，表面平整，而且方便更换样品。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 织物 样品 夹持 | ||
【主权项】：
1.一种磁控溅射织物样品夹持器，其特征在于：包括固定架(1)、样品盘(2)和样品夹紧圈(3)；所述固定架(1)包括底架(11)，及设置在底架(11)上的左挡块(12a)、右挡块(12b)、后挡块(13)、左弹性片(14a)和右弹性片(14b)，所述底架(11)设有向前侧开口的U型槽，所述左挡块(12a)、右挡块(12b)和后挡块(13)分别位于U型槽的左侧、右侧和后侧，所述左挡块(12a)、右挡块(12b)、后挡块(13)与底架(11)形成用于容置样品盘(2)的固定腔，所述样品盘(2)通过U型槽可拆卸安装在固定腔内；所述左弹性片(14a)和右弹性片(14b)对应设置于左挡块(12a)和右挡块(12b)的内侧靠近U型槽的位置，并分别具有向上凸起的用于顶压样品盘(2)的拱形部(141)；所述样品夹紧圈(3)具有弹性且设置有缺口(31)，所述样品盘(2)设有一圆形凹槽(22)，所述样品夹紧圈(3)弹性安装在样品盘(2)的圆形凹槽(22)里。
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