[发明专利]一种芯片生产用光刻机有效
| 申请号： | 201810754955.4 | 申请日： | 2018-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN108873619B | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 韩珂;韩丹丹;韩士双;陈涛 | 申请（专利权）人： | 深圳市克拉尼声学科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京高航知识产权代理有限公司 11530 | 代理人： | 乔浩刚 |
| 地址： | 518101 广东省深圳市宝安区西*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及芯片生产设备领域，具体的说是一种芯片生产用光刻机，包括底板、高度调节结构、工作台、检测结构、LED灯、积尘结构和真空泵；底板与用于放置芯片的工作台之间设有调节高度的高度调节结构；工作台的内部设有提供负压的真空泵；工作台上设有用于检测芯片的LED灯与用于放置芯片的检测结构；工作台的底端设有用于收纳灰尘的积尘结构。本发明的真空泵配合检测结构的使用实现了积尘结构的内部负压，便于将检测结构上的芯片上的灰尘废屑压进积尘结构的内部，便于快速的处理光刻后的灰尘，工作台上设置的LED灯配合检测结构的使用便于在处理灰尘的同时对光刻的芯片进行检测，节省了了加工工序的时间，大大提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 芯片 生产 用光 | ||
【主权项】：
1.一种芯片生产用光刻机，其特征在于：包括底板(1)、高度调节结构(3)、工作台(4)、检测结构(6)、LED灯(7)、积尘结构(8)和真空泵(9)；所述底板(1)与用于放置芯片的所述工作台(4)之间设有调节高度的所述高度调节结构(3)，且所述高度调节结构(3)与所述工作台(4)可拆卸连接；所述工作台(4)的内部设有提供负压的所述真空泵(9)；所述工作台(4)上设有用于检测芯片的所述LED灯(7)与用于放置芯片的所述检测结构(6)，且所述检测结构(6)与所述工作台(4)卡合；所述工作台(4)的底端设有用于收纳灰尘的所述积尘结构(8)，所述积尘结构(8)与所述检测结构(6)一一对应，所述积尘结构(8)与所述工作台(4)卡合。
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