[发明专利]一种蒸镀设备有效
| 申请号： | 201810750283.X | 申请日： | 2018-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN108823535B | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 邹清华 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及蒸镀技术领域，公开了一种蒸镀设备，该蒸镀设备，包括：线性蒸发源，所述线性蒸发源包括蒸镀腔体和位于所述腔体顶部、且与腔体连通的条形出气槽；出气辊，设置于所述出气槽内，轴心线与所述出气槽的延伸方向平行，且与所述出气槽滚动配合；所述出气辊上设有至少两排出气孔，每排出气孔沿所述出气辊的轴心线方向排列、且贯穿所述出气辊；每排出气孔的设置不同；通过滚动出气辊可以使出气辊上任意一排出气口的出口与出气槽的槽口对应连通。本发明实施例提供的蒸镀设备的蒸镀功能较全面，可以应对不同的蒸镀需求，并且功能切换操作过程简单，不会影响产能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 设备 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：线性蒸发源，所述线性蒸发源包括蒸镀腔体和位于所述腔体顶部、且与腔体连通的条形出气槽；出气辊，设置于所述出气槽内，轴心线与所述出气槽的延伸方向平行，且与所述出气槽滚动配合；所述出气辊上设有至少两排出气孔，每排出气孔沿所述出气辊的轴心线方向排列、且贯穿所述出气辊；每排出气孔的设置不同；通过滚动出气辊可以使出气辊上任意一排出气口的出口与出气槽的槽口对应连通。
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