[发明专利]一种800纳米中心波长的金属介质膜宽带脉宽压缩光栅在审
| 申请号： | 201810742641.2 | 申请日： | 2018-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN108732670A | 公开（公告）日： | 2018-11-02 |
| 发明（设计）人： | 孔钒宇;晋云霞;邵建达;张益彬;王勇禄;曹红超;陈俊明;陈鹏;徐姣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种800纳米中心波长的金属介质膜宽带脉宽压缩光栅，其特点是在石英基底上自底层向外层依次的金属层、剩余层和光栅层一体构成，所述的光栅层为梯形光栅，该梯形光栅的材料为SiO2；周期为500‑680纳米；底部占空比为0.48‑0.58；底角83°‑86°；槽深860‑930纳米。本发明在入射角度65°，在750‑850纳米波段TE偏振的‑1级反射衍射效率大于90％。入射波长800纳米激光以65°或17°入射至光栅表面，光栅对TE偏振光的‑1级反射衍射效率大于90％。本发明的单脉冲面损伤阈值为0.4J/cm2@35fs，800±35nm。本发明可用作高功率超短脉冲激光系统的脉宽压缩光栅。 | ||
| 搜索关键词： | 光栅 反射衍射效率 金属介质膜 梯形光栅 中心波长 光栅层 高功率超短脉冲激光 底角 压缩 光栅表面 脉宽压缩 纳米波段 纳米激光 入射波长 单脉冲 金属层 入射角 剩余层 占空比 槽深 基底 可用 入射 石英 损伤 | ||
【主权项】：
1.一种800纳米中心波长的金属介质膜宽带脉宽压缩光栅，特征在于其构成是在石英基底上(1)自下而上依次的金属层(2)、剩余层(3)和光栅层(4)一体构成，所述的光栅层(4)为梯形光栅，该梯形光栅的周期为500‑680纳米；底部占空比为0.48‑0.58；底角83°‑86°；槽深860‑930纳米。
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