[发明专利]高分辨率扫描显微术

摘要

本发明涉及一种用于对样本进行高分辨率扫描显微术的显微镜和方法，照亮样本，将扫描地导引通过样本的点光斑或线光斑成像为帧，光斑按成像比例衍射受限地成像为帧并且帧静止地处于探测平面内，针对扫描位置以位置分辨率检测帧，位置分辨率在考虑成像比例的情况下至少是衍射受限的帧的半值宽度的两倍，因此检测到帧的衍射结构，针对每个扫描位置分析帧的衍射结构，产生样本的图像，图像具有超过衍射极限的分辨率，提供测器阵列，探测器阵列具有像素并且大于帧，来自探测平面的帧的射线不成像地再分配到探测器阵列的像素上，设有再分配元件，探测光线至少部分地在其光谱组成方面有所区别，射线从所述至少两个再分配元件到达探测器阵列的像素。

主权项

1.一种用于对样本(2)进行高分辨率扫描显微术的显微镜，具有‑用于照亮样本(2)的照明装置(3)，‑成像装置(4)，用于在样本(2)上扫描至少一个点光斑或线光斑(14)并且用于在探测平面(18)内将点光斑或线光斑(14)成像为衍射受限的静止的帧(17)，‑探测器装置(19)，用于针对不同的扫描位置以位置分辨率检测探测平面(18)内的帧(17)，‑分析装置(C)，用于由探测器装置(19)的数据针对扫描位置分析帧(17)的衍射结构并且用于产生样本(2)的图像，所述图像的分辨率超过衍射极限，其中，‑探测器装置(19)具有：‑探测器阵列(24)，所述探测器阵列具有像素(25)并且大于帧(17)，和‑不成像的再分配元件(20‑21；30‑34；30‑35)，所述再分配元件布置在探测器阵列(24)之前并且将来自探测平面(18)的射线不成像地分配到探测器阵列(24)的像素(25)上，‑其中，设有至少两个同时受到探测光线加载的再分配元件，并且其中，探测光线至少部分地在其光谱组成方面有所区别，并且射线从所述至少两个再分配元件到达探测器阵列的像素，‑其中，在探测光路中设置至少一个分色器，用于产生至少两个部分光路，所述部分光路具有至少部分不同的光谱特性，‑其中，每个所述再分配元件是纤维束，所述纤维束的纤维端部终结于探测器阵列的像素处。