[发明专利]一种强超声辅助法制备组织均匀的高致密ZnO2靶材在审
| 申请号： | 201810730755.5 | 申请日： | 2018-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN109265158A | 公开（公告）日： | 2019-01-25 |
| 发明（设计）人： | 李璐;黎军军;关有为;刘碧桃;阮海波 | 申请（专利权）人： | 重庆文理学院 |
| 主分类号： | C04B35/453 | 分类号： | C04B35/453;C04B35/622;C23C14/34 |
| 代理公司： | 上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙) 31251 | 代理人： | 郭桂峰 |
| 地址： | 402160 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 一种强超声辅助法制备组织均匀的高致密ZnO2靶材，其制备方法为：将粒径≈50nm，纯度≥99.99％的ZnO2经过干法制粒机，制成15‑20um左右大小的蓬松颗粒。再将经过制粒的蓬松ZnO2颗粒填装在超声辅助模具中并放置于冷静压下。调节油压机的压力，将模具内部压强分别设置为150MPa、300MPa、450MPa、600MPa、750MPa和900MPa。引入功率P＝3Kw的超声震荡和冷静压双重作用下成型致密度高达74.2±0.2％的素坯样品。最后，在1150℃的温度下烧结5h制得。 | ||
| 搜索关键词： | 超声辅助 高致密 靶材 压强 干法制粒机 超声震荡 模具内部 蓬松颗粒 双重作用 烧结 油压机 蓬松 粒径 素坯 填装 压下 制粒 制备 模具 成型 引入 | ||
【主权项】：
1.一种强超声辅助法制备组织均匀的高致密ZnO2靶材，其特征在于其制备方法为：将粒径≈50nm，纯度≥99.99％的ZnO2经过干法制粒机，制成15‑20um左右大小的蓬松颗粒；再将经过制粒的蓬松ZnO2颗粒填装在超声辅助模具中并放置于冷静压下；调节油压机的压力，将模具内部压强分别设置为150MPa、300MPa、450MPa、600MPa、750MPa和900MPa；引入功率P＝3Kw的超声震荡和冷静压双重作用下。
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