[发明专利]具有三维高空间分辨率高速拉曼光谱扫描成像方法与装置

摘要

根据本发明的具有三维高空间分辨率高速拉曼光谱扫描成像方法与装置，装置包括窄带滤光片、分束镜、第一频率调制器、第一反射镜、第二反射镜、二分之一波片、偏振分光棱镜、第二频率调制器、二向色镜、多面体棱镜、二维振镜、第一透镜单元、聚焦物镜、滤光片、第二透镜单元、光阑、光纤、光谱仪。本发明通过同时构建两束正交的线偏振光照明，利用频率调制来区分线偏振光聚焦后形成光斑的重叠情况，用多面体棱镜来实现提高多焦点扫描成像速度的目的，利用光谱仪的频率解调来提取两束正交线偏振光聚焦后形成的光斑的重叠区域对应的有效信号，实现提高三维空间分辨率，并通过窄带滤光片、滤光片阻挡散射光及杂散光来实现高分辨率的拉曼光谱扫描成像。

主权项

1.一种具有三维高空间分辨率高速拉曼光谱扫描成像装置，其特征在于，包括：窄带滤光片、分束镜、第一频率调制器、第一反射镜、第二反射镜，二分之一波片，偏振分光棱镜、第二频率调制器、二向色镜、多面体棱镜、二维振镜、第一透镜单元、聚焦物镜、第一滤光片、第二透镜单元、光阑、光纤、光谱仪，其中，所述窄带滤光片、所述分束镜、所述第一反射镜沿第一光轴线依次设置，所述分束镜、所述第一频率调制器、所述第二反射镜沿与所述第一光轴线垂直的第二光轴线依次设置，所述第一反射镜、所述第一频率调制器、所述二分之一波片以及所述偏振分光棱镜沿与所述第一光轴线垂直的第三光轴线依次设置，所述第三光轴线与所述第二光轴线平行，所述第二反射镜、所述偏振分光棱镜、所述第二频率调制器、所述二向色镜、所述多面体棱镜以及所述二维振镜沿与所述第三光轴线垂直的第四光轴线依次设置，所述二维振镜、所述第一透镜单元、所述聚焦物镜沿与所述第四光轴线垂直的第五光轴线依次设置，所述二向色镜、所述第一滤光片、所述第二透镜单元、所述光阑、所述光纤以及所述光谱仪沿与所述第四光轴线垂直的第六光轴线依次设置，所述第一透镜单元、所述第二透镜单元均包括一个透镜或多个透镜的组合。