[发明专利]一种改性纳米二氧化硅复合抛光液及其应用有效
申请号: | 201810711364.9 | 申请日: | 2018-07-03 |
公开(公告)号: | CN108587478B | 公开(公告)日: | 2020-09-25 |
发明(设计)人: | 石峰;张万里;戴一帆;彭小强;宋辞;宋家亮 | 申请(专利权)人: | 中国人民解放军国防科技大学 |
主分类号: | C09G1/02 | 分类号: | C09G1/02;B24B1/00;B24B57/02 |
代理公司: | 长沙国科天河知识产权代理有限公司 43225 | 代理人: | 董惠文 |
地址: | 410073 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 公开了一种改性纳米二氧化硅复合抛光液,由下列质量重量份的原料制备:金刚石微粉、纳米二氧化硅、表面活性剂、分散剂、去离子水、稳定剂、PH调节剂组成;其制备步骤如下:(1)改性:将表面活性剂、纳米二氧化硅依次置于水中超声分散;(2)分散:将金刚石微粉加入分散后的纳米二氧化硅溶液中超声分散;(3)混合:依次向分散好的复合抛光液中加入分散剂、稳定剂;(4)调PH:使用pH调节剂调节复合抛光液的PH值;(5)过滤、保存:将改性纳米二氧化硅复合抛光液反复过滤,过滤完毕的抛光液于PE材质塑料桶中密封保存。本发明产品应用于熔石英元件表面的纳米射流抛光,抛光后的熔石英镜面表面质量高,镜面损伤低,激光损伤阈值高。 | ||
搜索关键词: | 一种 改性 纳米 二氧化硅 复合 抛光 及其 应用 | ||
【主权项】:
1.一种改性纳米二氧化硅复合抛光液,其特征在于,它由下列重量份的原料制备而成:金刚石微粉:5重量份;纳米二氧化硅:5重量份;表面活性剂:3重量份;去离子水:100重量份;分散剂:0.8‑1.2重量份;稳定剂:2重量份;pH调节剂:0.1‑10重量份。
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