[发明专利]一种防震型晶圆研磨机在审
| 申请号： | 201810709481.1 | 申请日： | 2018-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN108857863A | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 贾红星;袁泉;孙健;陈业 | 申请（专利权）人： | 江苏纳沛斯半导体有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/34;B24B27/00;B24B41/00;B24B55/06;B24B37/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 223002 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种防震型晶圆研磨机，包括晶圆研磨机本体，所述晶圆研磨机本体的上表面设置有研磨座，所述研磨座固定在晶圆研磨机本体的上表面，所述研磨座的内部设置有转轮，所述转轮的外表面设置有清洁刷，所述研磨座的内部开设有碎屑排放管，所述碎屑排放管贯穿晶圆研磨机本体的内部并延伸至晶圆研磨机本体的底部；采用旋转电机、转轮、研磨盖、研磨轮和缓冲弹簧，使转轮通过旋转电机带动，同时研磨轮在缓冲弹簧的作用下紧贴晶圆，使晶圆转动进行研磨，提高了晶圆研磨的效率，降低晶圆研磨的时间，晶圆槽下方采用支撑杆和轴承，使晶圆在打磨过程中晶圆槽通过研磨的作用下绕着轴承转动，增加晶圆打磨的均衡程度。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆 研磨机本体 研磨 研磨座 转轮 缓冲弹簧 旋转电机 防震型 晶圆槽 排放管 上表面 研磨机 研磨轮 碎屑 打磨 内部设置 轴承转动 清洁刷 支撑杆 轴承 紧贴 转动 均衡 贯穿 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种防震型晶圆研磨机，包括晶圆研磨机本体（1），其特征在于：所述晶圆研磨机本体（1）的上表面设置有研磨座（2），所述研磨座（2）固定在晶圆研磨机本体（1）的上表面，所述研磨座（2）的内部设置有转轮（3），所述转轮（3）的外表面设置有清洁刷（4），所述研磨座（2）的内部开设有碎屑排放管（5），所述碎屑排放管（5）贯穿晶圆研磨机本体（1）的内部并延伸至晶圆研磨机本体（1）的底部。
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