[发明专利]一种石墨烯导热膜用于功率模块散热的方法在审
| 申请号： | 201810674559.0 | 申请日： | 2018-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN109065457A | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 农一清;吴健康 | 申请（专利权）人： | 深圳市爱拓芯半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/48 | 分类号： | H01L21/48;H01L23/373 |
| 代理公司： | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人： | 陈娟 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种石墨烯导热膜用于功率模块散热的方法，它涉及集成电路技术领域，具体涉及一种石墨烯导热膜用于功率模块散热的方法。它包含以下步骤：a、将石墨烯水性散热涂料均匀的喷涂在功率模块的散热基材上；b、用烘干机将功率模块散热基材上的石墨烯水性散热涂料烘干，并形成干燥的石墨烯导热膜。采用上述技术方案后，本发明有益效果为：它利用石墨烯优异的热传导性，可将功率模块散热基材的热量进行快速均匀的扩散，发挥散热功效实现热量快速交换，在实际应用中则可以省掉传统的散热硅脂且有更好的散热效率及可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨烯 功率模块 导热膜 散热基材 散热 散热涂料 集成电路技术 快速交换 热传导性 散热功效 散热硅脂 散热效率 传统的 烘干机 烘干 喷涂 扩散 应用 | ||
【主权项】：
1.一种石墨烯导热膜用于功率模块散热的方法，其特征在于：它包含以下步骤：a、将石墨烯水性散热涂料均匀的喷涂在功率模块的散热基材上；b、用烘干机将功率模块散热基材上的石墨烯水性散热涂料烘干，并形成干燥的石墨烯导热膜。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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