[发明专利]研磨头、研磨系统及研磨方法在审
| 申请号： | 201810670586.0 | 申请日： | 2018-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN108818294A | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 邹建龙;左少杰;李道光;李大鹏 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈力奕 |
| 地址： | 430205 湖北省武汉市洪山区东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种能优化受力时的形变状态从而改善被研磨物边缘膜厚的移除率过低问题的研磨头、具备该研磨头的研磨系统、以及利用该研磨头进行研磨的方法。研磨头包括：研磨头主体，该研磨头主体中设有用于提供气体压力的气体通道，所述气体通道贯穿所述研磨头主体的下表面；以及研磨头内膜，该研磨头内膜的材料包含液态硅胶，所述研磨头内膜固设于所述下表面，并覆盖所述气体通道在所述下表面上的端口，所述研磨头内膜用于在通过所述气体通道通入气体时发生形变从而压住被研磨物来进行研磨。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨头 气体通道 内膜 研磨 下表面 被研磨物 研磨系统 气体压力 形变状态 液态硅胶 形变 边缘膜 固设 受力 压住 移除 覆盖 贯穿 优化 | ||
【主权项】：
1.一种研磨头，其特征在于，包括：研磨头主体，该研磨头主体中设有用于提供气体压力的气体通道，所述气体通道贯穿所述研磨头主体的下表面；以及研磨头内膜，该研磨头内膜的材料包含液态硅胶，所述研磨头内膜固设于所述下表面，并覆盖所述气体通道在所述下表面上的端口，所述研磨头内膜用于在通过所述气体通道通入气体时发生形变从而压住被研磨物来进行研磨。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长江存储科技有限责任公司，未经长江存储科技有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810670586.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种水晶玻璃研磨机的升降装置
- 下一篇：研磨装置及研磨状态监视方法
