[发明专利]激光加工装置和激光加工方法有效
| 申请号： | 201810660262.9 | 申请日： | 2018-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN109202308B | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 山本节男 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B23K26/40 | 分类号： | B23K26/40;B23K26/08;B23K26/064;B23K26/03 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于靖帅;乔婉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供激光加工装置和激光加工方法，能够抑制因激光束而使卡盘工作台破损。激光加工装置(1)包含：卡盘工作台(10)，其利用保持面(11)对单晶SiC锭(600)进行保持；激光束照射单元，其对卡盘工作台(10)所保持的单晶SiC锭(600)照射激光束；以及相机单元(30)，其对卡盘工作台(10)所保持的单晶SiC锭(600)进行拍摄。卡盘工作台(10)包含：多孔质玻璃板(12)，其构成保持面(11)；以及玻璃框部(13)，其由非多孔质玻璃形成，具有凹部(14)和负压传递路(15)，该凹部(14)供多孔质玻璃板(12)嵌合，该负压传递路(15)将负压传递至所嵌合的多孔质玻璃板(12)。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种激光加工装置，其中，该激光加工装置具有：卡盘工作台，其利用保持面对被加工物进行保持；激光束照射单元，其对该卡盘工作台所保持的被加工物照射激光束；以及相机单元，其对该卡盘工作台所保持的该被加工物进行拍摄，该卡盘工作台包含：多孔质部件，其构成该保持面；以及玻璃框部，其由非多孔质玻璃形成，具有凹部和负压传递路，该凹部供该多孔质部件嵌合，该负压传递路将负压传递至所嵌合的该多孔质部件。
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