[发明专利]一种高灵敏度扭摆式硅微加速度计及其制备方法

摘要

本发明公开了一种高灵敏度扭摆式硅微加速度计及其制备方法，硅微加速度计包括连接为一体的硅基板和硅敏感结构，硅敏感结构包括应力释放结构、两对支撑梁、一对耦合敏感质量块以及一对锚点，一对耦合敏感质量块之间对称布置，且每一个耦合敏感质量块均分别通过一根单独的支撑梁和锚点相连、通过另一根单独的支撑梁和应力释放结构连接耦合，每一个耦合敏感质量块的质心位于和锚点相连的支撑梁的中点；制备方法采用干法刻蚀制备。本发明具有器件空间利用率高、敏感质量块有效检测面积大、高灵敏度、成品率高、成本低、加工质量高、加工鲁棒性好、应用范围广的优点。

主权项

1.一种高灵敏度扭摆式硅微加速度计，包括连接为一体的硅基板（1）和硅敏感结构（2），其特征在于：所述硅敏感结构（2）包括应力释放结构（21）、两对支撑梁（22）、一对耦合敏感质量块（23）以及一对锚点（24），一对耦合敏感质量块（23）之间对称布置，且每一个耦合敏感质量块（23）均分别通过一根单独的支撑梁（22）和锚点（24）相连、通过另一根单独的支撑梁（22）和应力释放结构（21）连接耦合，每一个耦合敏感质量块（23）的质心位于和锚点（24）相连的支撑梁（22）的中点，所述锚点（24）位于耦合敏感质量块（23）的中部；所述硅基板（1）上设有电容板组件（11）和引线电极组件（12），所述电容板组件（11）分别设于耦合敏感质量块（23）下方且与耦合敏感质量块（23）间隙布置，所述引线电极组件（12）和电容板组件（11）相连。