[发明专利]米级大口径光学元件高效抛光机及抛光方法

摘要

一种米级大口径光学元件高效抛光机及抛光方法，抛光机包括搅拌器、小水盆、大理石盘、大水盆、机架、工件环固定件、前后手轮、工件环、工件环驱动器、上下手轮、小叶轮泵、大叶轮泵、注液桶、靠轮、工件环支撑件、电机、抛光垫和转盘轴承。本发明可对米级大口径光学元件进行加工，采用超高平面度精度大理石盘来确保光学元件的面形精度，多个工位可以同时加工光学元件，工件环采用悬浮结构、循环注液、浸没式抛光等技术，大大提高了光学元件的加工效率，降低加工成本。

主权项

1.一种米级大口径光学元件高效抛光机，其特征在于该抛光机包括搅拌器(1)、小水盆(2)、大理石盘(3)、大水盆(4)、机架(5)、工件环固定件(6)、前后手轮(7)、工件环(8)、工件环驱动器(9)、上下手轮(10)、小叶轮泵(11)、大叶轮泵(12)、注液桶(13)、靠轮(14)、工件环支撑件(15)、电机(16)、抛光垫(17)和转盘轴承(18)，所述的机架(5)由六边形的六个顶角处的支撑架支撑并置于地面上，所述的大水盆(4)的外围固定在所述的机架(5)的内侧，内围延伸至大理石盘(3)的下面；在所述的机架(5)上的周边均匀地设有多个工件环固定件(6)，该工件环固定件(6)有水平导轨和垂直导轨，分别有前后手轮(7)和上下手轮(10)来控制调节所述的工件环(8)的水平和垂直的运动，所述的工件环支撑件(15)固定在所述的工件环固定件(6)上，所述的工件环(8)通过卡槽限定在所述的工件环支撑件(15)的内，并由工件环支撑件(15)支撑，所述的工件环(8)由固定在所述的工件环固定件(6)上的工件环驱动器(9)通过靠轮(14)驱动转动；所述的大理石盘(3)上贴有抛光垫(17)，所述的大理石盘(3)的外围设有一圈密闭的小水盆(2)，大理石盘(3)通过转盘轴承(18)与电机(16)连接，所述的电机(16)固定在地面上，该电机(16)驱动所述的大理石盘(3)的运动；所述的搅拌器(1)固定在机架(5)空余的一角上，该搅拌器(1)的搅拌头伸入所述的小水盆(2)的槽内；所述的循环注液桶(13)放置在所述的机架(5)旁边地面上，使用小叶轮泵(11)将小水盆(2)中的抛光液泵到所述的循环注液桶(13)中，使用大叶轮泵(12)将注液桶(13)中的抛光液泵回所述的小水盆(2)中。