[发明专利]一种铝铜靶材及其焊接方法在审
| 申请号： | 201810632976.9 | 申请日： | 2018-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN108746979A | 公开（公告）日： | 2018-11-06 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;廖培君 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K20/02 | 分类号： | B23K20/02;C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 肖丽 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种铝铜靶材的焊接方法，涉及溅射靶材领域，其先在铜合金背板上镀上钛膜或镍膜，通过钛膜或镍膜与高纯铝之间的良好扩散性能，来增加铜合金背板与高纯铝靶材之间的结合强度，实现了高纯铝靶材与铜合金背板在较低温度下的焊接。该焊接方法操作简单方便，在避免高纯铝靶材的晶粒异常长大的同时，得到高结合强度的铝铜靶材。一种铝铜靶材，其采用上述铝铜靶材的焊接方法焊接得到，与现有的锡焊靶材相比，该铝铜靶材的高纯铝靶材与铜合金背板之间的结合强度高，并且耐高温，能够更好地应用于高温下的溅射作业。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 铝铜 焊接 高纯铝 铜合金背板 镍膜 钛膜 溅射靶材 扩散性能 晶粒 耐高温 溅射 锡焊 应用 | ||
【主权项】：
1.一种铝铜靶材的焊接方法，其特征在于，包括：在铜合金背板的焊接面上镀一层过渡膜，所述过渡膜包括钛膜和镍膜中的任一种；采用扩散焊接的方式，在300～400℃下，将纯铝靶材与镀有所述过渡膜的所述铜合金背板焊接在一起。
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