[发明专利]一种强韧耐蚀CrAlN/Cr2

摘要

一种强韧耐蚀CrAlN/Cr2AlC多层涂层及其制备方法，所述方法包括基体的清洗干燥、氩离子对基体进行刻蚀、基体沉积过渡层、将CrAlN/Cr‑Al‑C多层膜涂层沉积于基体表面、低温退火得到CrAlN/Cr2AlC。基体与CrAlN/Cr2AlC多层涂层之间为过渡层，该多层涂层由CrAlN硬质膜与Cr2AlC MAX相膜交替层叠形成周期性排列。本发明的多层膜涂层具有高硬度、低内应力以及高的耐蚀特性，可延长基体的耐磨和耐腐蚀寿命。本发明克服了CrAlN单一涂层硬度高但韧性不足、Cr2AlC单一涂层韧性和耐腐蚀性好但硬度低的问题。本发明提供的多层膜涂层制备方法通过周期性控制N2和CH4反应气体的流量结合后续低温热处理获得，工艺简单易控，可工业化生产，所制备的多层膜涂层性能稳定，适用于不同环境下的刀模具或其他运动部件的耐磨耐蚀防护。

主权项

1.一种强韧耐蚀CrAlN/Cr2AlC多层膜涂层，基体与CrAlN/Cr2AlC多层膜涂层之间为过渡层，其特征在于，所述CrAlN/Cr2AlC多层膜涂层由CrAlN膜与Cr2AlC MAX相膜交替层叠形成周期排列；所述CrAlN/Cr2AlC多层膜涂层的一个周期中，CrAlN膜和Cr2AlC MAX相膜的厚度比为1:1～3:1。