[发明专利]超声波扫描方法和超声波扫描装置在审
| 申请号： | 201810611507.9 | 申请日： | 2018-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN108760885A | 公开（公告）日： | 2018-11-06 |
| 发明（设计）人： | 许平康;刘命江;方桂芹;黄仁德 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01N29/04 | 分类号： | G01N29/04 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;董琳 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种超声波扫描方法和超声波扫描装置，所述超声波扫描方法包括：提供一待扫描晶圆，所述待扫描晶圆置于一基台上；自所述基台边缘初始扫描位置开始，采用超声波进行逐行扫描，并获取超声波的反射波波形，所述反射波波形至少包括第一波形，所述第一波形对应于扫描位置自晶圆区域进入基台区域的反射波形；当获取到所述第一波形时，移动至下一行进行扫描，且扫描方向与上一行的扫描方向相反。 | ||
| 搜索关键词： | 超声波扫描 超声波扫描装置 反射波波形 扫描方向 扫描 超声波 晶圆 初始扫描位置 基台边缘 晶圆区域 扫描位置 逐行扫描 基台 反射 移动 | ||
【主权项】：
1.一种超声波扫描方法，其特征在于，包括：提供一待扫描晶圆，所述待扫描晶圆置于一基台上；自所述基台边缘初始扫描位置开始，采用超声波进行逐行扫描，并获取超声波的反射波波形，所述反射波波形至少包括第一波形，所述第一波形对应于扫描位置自晶圆区域进入基台区域的反射波形；当获取到所述第一波形时，移动至下一行进行扫描，且扫描方向与上一行的扫描方向相反。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于德淮半导体有限公司，未经德淮半导体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810611507.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种钢管质量检测设备
- 下一篇：一种可水耦合岩芯声学参数测试平台
