[发明专利]共焦位移传感器

摘要

提供共焦位移传感器，其具有改善的对低反射率测量对象的测量精度。其包括：从第一出射端输出光的第一光纤，投光用的光输入到其第一入射端；从第二出射端出射经由第二入射端输入的光的第二光纤，第二入射端与第一出射端相对；在经由第二出射端出射的检测光上引起轴向色像差并使检测光向测量对象会聚的光学构件；分光器，用于在经由光学构件照射于测量对象的检测光中使通过在聚焦于测量对象时反射而穿过第二出射端的检测光光谱分散；计算测量对象的位移用的测量控制部；使第二入射端可拆地连接到第一出射端用的光纤连接部；第一出射端与第二入射端间的折射率匹配材料。第二入射端和第一出射端以小于第二出射端的第一倾角的第二倾角倾斜。

主权项

1.一种共焦位移传感器，其使用共焦光学系统对测量对象的位移进行测量，所述共焦位移传感器包括：投光用光源，其被构造为产生具有多个波长的光；第一光纤，从所述投光用光源出射的光被输入到所述第一光纤的第一入射端，所述第一光纤从第一出射端输出所述光；第二光纤，所述第二光纤的第二入射端被布置为与所述第一出射端相对，所述第二光纤从第二出射端出射经由所述第二入射端输入的光；光学构件，其被构造为在经由所述第二出射端的端面出射的检测光上引起轴向色像差并且使所述检测光朝向所述测量对象会聚；分光器，其被构造为在经由所述光学构件照射于所述测量对象的所述检测光中使通过在聚焦于所述测量对象的同时被反射而穿过所述第二出射端的端面的检测光光谱分散，并且产生代表各波长的受光强度的受光信号；测量控制部，其被构造为基于所述受光信号计算所述测量对象的位移；光纤连接部，其被构造为使所述第二入射端可拆卸地连接到所述第一出射端；以及折射率匹配材料，其被布置于所述第一出射端与所述第二入射端之间且与所述第一出射端的端面和所述第二入射端的端面两者接触，并且被构造为减小所述第一光纤与所述第二光纤之间的折射率的变化，其中，所述第二出射端具有相对于与所述第二光纤的中心轴线垂直的平面以第一倾斜角度倾斜的端面，并且所述第二入射端和所述第一出射端分别具有以小于所述第一倾斜角度的第二倾斜角度倾斜的端面。