[发明专利]利用90°光学混波器数字剪切散斑动态检测系统及方法有效

专利信息
申请号: 201810597274.1 申请日: 2018-06-11
公开(公告)号: CN108982510B 公开(公告)日: 2021-05-28
发明(设计)人: 杨馥;李姝欣;刘政;钟平;詹亚歌;姜萌 申请(专利权)人: 东华大学
主分类号: G01N21/88 分类号: G01N21/88
代理公司: 上海申汇专利代理有限公司 31001 代理人: 翁若莹;柏子雵
地址: 200050 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及一种利用90°光学混波器对材料缺陷进行动态检测装置包括激光光源、若干光纤、90°光学混波器、基于迈克尔逊干涉仪的剪切设备以及四套同规格的光纤接口CCD。所述的激光光源近似垂直入射至被测物体,带有被测物体缺陷信息的散斑信号光通过一套剪切迈克尔逊干涉仪得到剪切散斑干涉信号,该信号耦合至光纤后输入至90°光学混波器,光学混波器输出的四个通道的光信号经四套同规格CCD接收,从而同时接收四幅具有90°相位差的散斑干涉图想。即只需采集单幅图像的时间,就能实现常见四步时间相移法的四幅相位相差90°的散斑干涉图样的采集,高质量地实现对材料缺陷的动态检测。
搜索关键词: 利用 90 光学 混波器 数字 剪切 动态 检测 系统 方法
【主权项】:
1.一种利用90°光学混波器的数字剪切散斑动态检测系统,其特征在于,包括激光光源、90°光学混波器、带有分光棱镜的迈克尔逊干涉仪以及四套同规格的光纤接口CCD;激光光源垂直照射于被检测物体形成带有被测物体缺陷信息的散斑信号光,该散斑信号光通过剪切迈克尔逊干涉仪得到剪切散斑干涉信号,该剪切散斑干涉信号耦合至光纤后输入至90°光学混波器,90°光学混波器输出四个通道的光信号经四套同规格CCD接收,从而同时接收四幅具有90°相位差的散斑干涉图像。
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