[发明专利]一种桌面型高能量密度极紫外辐照损伤测试装置有效
| 申请号： | 201810596643.5 | 申请日： | 2018-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN108918094B | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 李文斌;张哲;王占山 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 翁惠瑜 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种桌面型高能量密度极紫外辐照损伤测试装置。包括：激光等离子体光源组件、极紫外聚焦滤光组件、样品台组件、控制组件、极紫外能量衰减组件和真空组件。本发明对光学系统、极紫外能量衰减方式、激光等离子体光源和控制系统进行了优化设计，采用激光等离子体光源、改进型施瓦兹希尔德物镜和聚焦点构成共轴结构，利用滤片保护罩和对激光等离子体导入高速喷射气体有效保护了锆滤片，基于气体吸收方法调控极紫外光能量密度，实现薄膜等材料极紫外波段抗辐照损伤能力测试研究。与现有技术相比，本发明具有能量密度高、稳定性好、系统性能可靠等优点，适用于在实验室内对光学元件开展极紫外抗损伤能力测试研究。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 桌面 高能量 密度 紫外 辐照 损伤 测试 装置 | ||
【主权项】：
1.一种桌面型高能量密度极紫外辐照损伤测试装置，包括激光等离子体光源组件(1)、极紫外聚焦滤光组件(2)、样品台组件(3)、控制组件(4)和真空组件(6)，所述激光等离子体光源组件(1)分别连接极紫外聚焦滤光组件(2)、控制组件(4)和真空组件(6)，所述极紫外聚焦滤光组件(2)、样品台组件(3)、控制组件(4)依次连接，所述真空组件(6)与控制组件(4)连接，进行测试时，待测样品(301)安装于样品台组件(3)上，其特征在于，还包括与激光等离子体光源组件(1)连接的极紫外能量衰减组件(5)，所述极紫外聚焦滤光组件(2)包括滤片保护罩(201)、锆滤片(202)、物镜腔室(203)和改进型施瓦兹希尔德物镜(204)，所述锆滤片(202)安装于滤片保护罩(201)上，激光等离子体光源组件(1)产生的光波通过所述滤片保护罩(201)穿过锆滤片(202)，所述改进型施瓦兹希尔德物镜(204)和样品台组件(3)设置于物镜腔室(203)内，且所述改进型施瓦兹希尔德物镜(204)设置于锆滤片(202)与待测样品(301)之间，使得激光等离子体光源、物镜和聚焦像点构成共轴结构。
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