[发明专利]一种用于获取表面势的方法及装置有效
| 申请号： | 201810577635.6 | 申请日： | 2018-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN108804807B | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 卢年端;李泠;刘明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G06F30/27 | 分类号： | G06F30/27 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于获取表面势的方法及装置，方法包括：获取多个目标器件的参数信息，参数信息包括：尺寸、器件结构、材料参数以及不同温度下的各所述目标器件的载流子迁移率；所述多个目标器件包括：常规材料制备的器件以及表面势已经被确定的新型材料制备的器件；所述常规材料包括体材料，所述第一新型材料包括：薄膜材料；在对应的操作条件下，基于每个所述目标器件的尺寸、所述器件结构、所述材料参数及所述迁移率提取各表面势；基于各所述表面势和参数信息建立表面势数据库；基于所述表面势数据库，根据神经网络构建表面势解析模型；利用所述表面势解析模型确定新型材料制备的器件的表面势。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 获取 表面 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于获取表面势的方法，其特征在于，所述方法包括：获取多个目标器件的参数信息，所述参数信息包括：尺寸、器件结构、材料参数以及不同温度下的各所述目标器件的载流子迁移率；所述多个目标器件包括：常规材料制备的器件以及表面势已经被确定的第一新型材料制备的器件；所述常规材料包括体材料，所述第一新型材料包括：薄膜材料；在对应的操作条件下，基于每个所述目标器件的尺寸、所述器件结构、所述材料参数及所述迁移率提取各表面势；基于各所述表面势和所述参数信息建立表面势数据库；基于所述表面势数据库，根据神经网络构建表面势解析模型；利用所述表面势解析模型确定第二新型材料制备的器件的表面势。
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