[发明专利]一种半叠层柔性硅基薄膜太阳能电池及其制备方法

摘要

一种半叠层柔性硅基薄膜太阳能电池及其制备方法，属于硅基薄膜太阳能电池领域。该半叠层柔性硅基薄膜太阳能电池的结构包括依次连接的前电极、吸收体和背电极；其中，吸收体为PI₁N₁I₂N₂结构的半叠层吸收体，P为P型非晶硅层，I₁为本征非晶硅层，N₁为N₁型非晶硅层，I₂为本征微晶硅层，N₂为N₂型非晶硅层；其制备方法为，处理衬底层，根据结构，采用射频磁控溅射法依次沉积各层。该半叠层柔性硅基薄膜太阳能电池采用半叠层PI₁N₁I₂N₂结构，有效避免传统叠层电池中隧穿结的重掺杂问题。在减薄叠层电池厚度的基础上，半叠层结构可以提高电池的内建电场强度、短路电流和转化效率。采用的磁控溅射方法，沉积过程高效、清洁、易于控制。

主权项

1.一种半叠层柔性硅基薄膜太阳能电池，其结构包括依次连接的前电极、吸收体和背电极；其特征在于，所述的吸收体为半叠层吸收体，其为半叠层PI₁N₁I₂N₂结构，其中，P层为P型非晶硅层，I₁层为本征非晶硅层，N₁层为N型非晶硅层，I₂层为本征微晶硅层，N₂层为N型非晶硅层；N₁层的掺杂浓度为(1~5)×10¹⁶cm^‑3，N₂层的掺杂浓度为(1~5)×10¹⁹cm^‑3。