[发明专利]一种多层梯度透光掺杂AZO薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201810560834.6 | 申请日： | 2018-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN108707866A | 公开（公告）日： | 2018-10-26 |
| 发明（设计）人： | 沈洪雪;姚婷婷;杨勇;李刚 | 申请（专利权）人： | 中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 | 代理人： | 陈俊 |
| 地址： | 233010 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开一种多层梯度透光掺杂AZO薄膜的制备方法，包括以下步骤：S1、清洗衬底，去除衬底表面的油污和杂质；S2、采用磁控溅射设备，以Al2O3靶与ZnO靶为溅射靶材，使Al2O3靶与ZnO靶的延长线相交于一点，衬底置于Al2O3靶与ZnO靶的相交点上；S3、通入工作气体氩气，在衬底上溅镀第一AZO薄膜层；S4、在第一AZO薄膜层上溅镀第二AZO薄膜层，第二AZO薄膜层的Al掺杂浓度大于第一AZO薄膜层的Al掺杂浓度；S5、在第二AZO薄膜层上溅镀第三AZO薄膜层，第三AZO薄膜层的Al掺杂浓度大于第二AZO薄膜层的Al掺杂浓度；最终得到AZO薄膜；磁控溅射方法简单，可控性强；无需制备各种浓度的掺杂AZO靶，节约成本，提高靶材利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 掺杂 衬底 溅镀 制备 透光 多层 磁控溅射设备 工作气体氩气 靶材利用率 衬底表面 磁控溅射 溅射靶材 可控性 相交点 延长线 油污 去除 相交 清洗 节约 | ||
【主权项】：
1.一种多层梯度透光掺杂AZO薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、清洗衬底，去除衬底表面的油污和杂质；S2、采用磁控溅射设备，以Al2O3靶与ZnO靶为溅射靶材，Al2O3靶与ZnO靶的靶座均与水平面呈45º夹角，使Al2O3靶与ZnO靶的延长线相交于一点，衬底置于Al2O3靶与ZnO靶的相交点上；S3、通入工作气体氩气，在衬底上溅镀第一AZO薄膜层；S4、在第一AZO薄膜层上溅镀第二AZO薄膜层，第二AZO薄膜层的Al掺杂浓度大于第一AZO薄膜层的Al掺杂浓度；S5、在第二AZO薄膜层上溅镀第三AZO薄膜层，第三AZO薄膜层的Al掺杂浓度大于第二AZO薄膜层的Al掺杂浓度；最终得到AZO薄膜。
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