[发明专利]一种增加超薄玻璃硬度与耐磨性的方法在审
| 申请号： | 201810560588.4 | 申请日： | 2018-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN108609862A | 公开（公告）日： | 2018-10-02 |
| 发明（设计）人： | 彭塞奥;杨扬;金克武;王天齐 | 申请（专利权）人： | 中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/245 | 分类号： | C03C17/245 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 | 代理人： | 陈俊 |
| 地址： | 233010 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种增加超薄玻璃硬度与耐磨性的方法，包括以下步骤：S1、清洗玻璃基底，去除玻璃基底表面污渍并吹干；S2、将清洗后的衬底置入磁控溅射镀膜设备，烘烤磁控溅射真空腔体，排出磁控溅射真空腔体内的杂质分子；S3、烘烤结束后，以锆为靶材，采用射频电源，氩气与氧气为溅射气体，通过磁控溅射在玻璃基底的一侧表面沉积氧化锆薄膜；S4、翻转玻璃基底，采用与步骤S3相同的工艺在玻璃基底的另一侧表面沉积氧化锆薄膜；双面镀膜保证镀膜玻璃的机械强度，在一面受到刚力冲击时另一面不会轻易破损；工艺过程可以精确控制，保证氧化锆薄膜的厚度可控，满足透过率要求。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃基 氧化锆薄膜 磁控溅射 耐磨性 表面沉积 超薄玻璃 烘烤 清洗 磁控溅射镀膜设备 玻璃基底表面 氩气 镀膜玻璃 工艺过程 厚度可控 溅射气体 射频电源 双面镀膜 杂质分子 真空腔体 污渍 透过率 真空腔 翻转 靶材 衬底 吹干 排出 去除 置入 破损 氧气 体内 保证 | ||
【主权项】：
1.一种增加超薄玻璃硬度与耐磨性的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、清洗玻璃基底，去除玻璃基底表面污渍并吹干；S2、将清洗后的玻璃基底置入磁控溅射镀膜设备，烘烤磁控溅射真空腔体，排出磁控溅射真空腔体内的杂质分子；S3、烘烤结束后，以锆为靶材，采用射频电源，氩气与氧气为溅射气体，通过磁控溅射在玻璃基底的一侧表面沉积氧化锆薄膜；S4、翻转玻璃基底，采用与步骤S3相同的工艺在玻璃基底的另一侧表面沉积氧化锆薄膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司，未经中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810560588.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
