[发明专利]一种蜂窝状结构压力传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201810558415.9 | 申请日： | 2018-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN108955955A | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 杨为家;何鑫;沈耿哲;刘铭全;刘俊杰;刘艳怡;王诺媛;蒋庭辉;刘均炎;卢翔 | 申请（专利权）人： | 五邑大学 |
| 主分类号： | G01L1/00 | 分类号： | G01L1/00 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 梁嘉琦 |
| 地址： | 529000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蜂窝状结构压力传感器，其特征在于，包括依次排列的薄膜层(1)、氧化铟锡层(2)、Ag纳米线层(3)、PDMS和/或有机硅弹性体层(4)、Ag纳米线层(5)、氧化铟锡层(6)、薄膜层(7)；其中，所述PDMS和/或有机硅弹性体层(4)为上、下面均为蜂窝状结构，Ag纳米线分布在PDMS和/或有机硅弹性体层的上表面和下表面上；本发明的压力传感器具有蜂窝状微纳结构，具有稳定性好、灵敏度高、抗褶皱能力强等特点，有利于提高压力传感器的寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 有机硅弹性体 蜂窝状结构 氧化铟锡层 纳米线层 薄膜层 褶皱 微纳结构 依次排列 蜂窝状 灵敏度 纳米线 能力强 上表面 下表面 制备 | ||
【主权项】：
1.一种蜂窝状结构压力传感器，其特征在于，包括依次排列的薄膜层(1)、氧化铟锡层(2)、Ag纳米线层(3)、PDMS和/或有机硅弹性体层(4)、Ag纳米线层(5)、氧化铟锡层(6)、薄膜层(7)；其中，所述PDMS和/或有机硅弹性体层(4)的上、下面分别为蜂窝状结构，Ag纳米线分别分布在PDMS和/或有机硅弹性体层的上表面和下表面。
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