[发明专利]掩膜板、蒸镀装置及显示装置的制造方法有效
| 申请号： | 201810552853.4 | 申请日： | 2018-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN108531855B | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 赵莹;李俊峰;高峰;甘帅燕 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种掩膜板、蒸镀装置及显示装置的制造方法，所述掩膜板的各个用于蒸镀材料的开口的周边设置有多个对位孔，能够通过控制每个开口周边的对位孔的位置来控制掩膜板的位置精度以及边框精度，增加张网的可靠性；同时还可以利用这些对位孔分散开口间区域处的应力，减少应变，降低掩膜板褶皱，提高掩膜板的平坦度，增加掩膜板与待蒸镀基板的贴合精度，从而提升蒸镀良率和生产良率，尤其是对于高PPI和窄边框产品提升非常明显。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 装置 显示装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜板，其特征在于，所述掩膜板包括多个用于蒸镀材料的开口，以及设置于每个所述开口周围的至少一个对位孔，所述对位孔用于确定一待蒸镀基板和所述掩膜板的对位，每个所述对位孔与所述开口之间无连通。
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