[发明专利]一种晶圆对准系统及方法和用于晶圆对准的光学成像装置

摘要

一种晶圆对准系统及方法和用于晶圆对准的光学成像装置，由于先获取晶圆的整体图像，计算运动平台的调节值，依据调节值对晶圆的位置进行初调节，使晶圆的边缘位于可依据晶圆的边缘图像进行精细调节的位置上。在获取晶圆的边缘图像，依据晶圆的边缘图像，再计算出动平台的调节值，依据调节值对晶圆位置进行精细调节，进而完成晶圆对准。使得在对晶圆进行对准时不需要连续旋转承片台来获取晶圆边缘图像，并且对准后不需要更换承片台，提高了晶圆对准的效率。

主权项

1.一种晶圆对准系统，其特征在于，包括：运动平台，可在X轴和Y轴移动并绕Z轴转动；晶圆承片台，其被支撑在所述运动平台上，用于承载晶圆；图像获取装置，设置于所述晶圆承片台上方，用于获取晶圆的整体图像和晶圆的边缘图像；处理器，其与所述图像获取装置和所述运动平台耦接，用于对所述晶圆的整体图像进行处理，并计算出所述运动平台在X轴和Y轴移动的第一调节值和绕Z轴转动的第一角度，并将所述第一调节值和所述第一角度发送给所述运动平台，以控制所述运动平台移动；所述处理器还用于对所述晶圆的边缘图像进行处理，并计算出所述运动平台在X轴和Y轴移动的第二调节值和绕Z轴转动的第二角度，将所述第二调节值和所述第二角度发送给所述运动平台，以控制所述运动平台移动。