[发明专利]一种基于纳米光栅的MOEMS陀螺仪及其加工方法有效
| 申请号： | 201810531794.2 | 申请日： | 2018-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN108716914B | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 夏敦柱;黄泠潮;赵立业 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01C19/5656 | 分类号： | G01C19/5656;G01C19/5663 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 徐红梅 |
| 地址： | 211189 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于纳米光栅的MOEMS陀螺仪及其加工方法，陀螺仪由上至下依次包括：盖帽、微谐振器和衬底，所述微谐振器为双质量块结构微谐振器，包括质量块、驱动框架和解耦梁结构，驱动框架设在质量块对边外围，解耦梁结构与质量块和驱动框架连接；可动纳米光栅附着在微谐振器的质量块上表面，可动纳米光栅上方的盖帽上对应设有固定纳米光栅，且盖帽对应驱动框架的梳齿处设有电极通孔。本发明利用光来检测角速度，具有质量小、测量精度高、不电磁干扰和便于批量生产等优点，应用范围广，有着良好的市场前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 纳米 光栅 moems 陀螺仪 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于纳米光栅的MOEMS陀螺仪，其特征在于，由上至下依次包括：盖帽、微谐振器和衬底，所述微谐振器为双质量块结构微谐振器，包括质量块、驱动框架和解耦梁结构，驱动框架设在质量块对边外围，解耦梁结构与质量块和驱动框架连接；可动纳米光栅附着在微谐振器的质量块上表面，可动纳米光栅上方的盖帽上对应设有固定纳米光栅，且盖帽对应驱动框架的梳齿处设有电极通孔。
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