[发明专利]一种基于金属纳米线的柔性传感器、及其制备方法有效
| 申请号： | 201810531450.1 | 申请日： | 2018-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN108766630B | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 杨为家;刘均炎;何鑫;沈耿哲;吴健豪;刘俊杰;刘铭全;刘艳怡;王诺媛 | 申请（专利权）人： | 五邑大学 |
| 主分类号： | H01B5/14 | 分类号： | H01B5/14;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 广州市红荔专利代理有限公司 44214 | 代理人： | 吴伟文 |
| 地址： | 529020 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于金属纳米线的柔性传感器、及其制备方法，由从下至上依次排列的第一PDMS薄膜层、金属纳米导电网络、电极、第二PDMS薄膜层组成，该方法包括S1)、制备金属非晶纳米薄膜；S2)、制备金属纳米导电网络；S3)、涂覆第一PDMS薄膜层；S4)、剥离衬底；S5)、镀电极；S6)、制备第二PDMS薄膜层。本发明制备方法简单、运用范围广泛，并且衬底可以多次反复使用，进一步降低了制备成本；另外，金属纳米导电网络为一体化结晶态的，进一步提高了传感器的导电性能和传感器的灵敏性，并且通过将一体化金属纳米网络全部转移到PDMS薄膜上，使得传感器的稳定性、响应性、柔性大大提高，而且还降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 金属 纳米 柔性 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于金属纳米线的柔性传感器，其特征在于：由从下至上依次排列的ZnO/衬底、第一PDMS薄膜层、金属纳米线网络、电极、第二PDMS薄膜层，所述的金属纳米线网络的直径为10‑450nm，第二PDMS薄膜层的厚度为0.2‑1μm。
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