[发明专利]微粒诊断方法和微粒诊断装置有效
| 申请号： | 201810531366.X | 申请日： | 2018-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN109427522B | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 藤本龙吾 | 申请（专利权）人： | 日新离子机器株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 周善来;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供微粒诊断方法和微粒诊断装置。为了通过高效的清扫来降低微粒的产生，诊断离子束照射装置中的微粒产生部位。该微粒诊断方法包括：输送和照射步骤(S1)，通过规定的输送线路(L1)将第一基板向离子束(IB)的照射位置输送，并向输送到照射位置的第一基板照射离子束(IB)；第一判断步骤(S2)，判断在输送和照射步骤(S1)中被照射了离子束(IB)的第一基板上附着的微粒是多是少；输送步骤(S3)，当在第一判断步骤(S2)中判断为微粒多时，通过输送线路(L1)将第二基板输送到照射位置；以及第二判断步骤(S4)，判断在输送步骤(S3)中输送到照射位置的第二基板上附着的微粒是多是少。 | ||
| 搜索关键词： | 微粒 诊断 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种微粒诊断方法，其特征在于，所述微粒诊断方法用于诊断离子束照射装置中的微粒产生部位，所述微粒诊断方法包括：输送和照射步骤，通过规定的输送线路将第一基板向离子束的照射位置输送，并向输送到所述照射位置的所述第一基板照射离子束；第一判断步骤，判断在所述输送和照射步骤中被照射了离子束的所述第一基板上附着的微粒是多是少；输送步骤，当在所述第一判断步骤中判断为微粒多时，通过所述输送线路将第二基板输送到所述照射位置；以及第二判断步骤，判断在所述输送步骤中输送到所述照射位置的所述第二基板上附着的微粒是多是少。
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