[发明专利]一种基于纳米光栅的单片集成陀螺仪及其加工方法

摘要

本发明公开一种基于纳米光栅的单片集成陀螺仪及其加工方法，陀螺仪包括集成光源、带纳米光栅微谐振器和集成光电转换器；集成光源上对称设有第一反射面，两个第一反射面外侧分别设有光源，相邻两个第一发射面和光源之间设有第一光路；微谐振器由上至下包括盖帽、微谐振器和衬底，微谐振器包括质量块、驱动框架和解耦梁结构，可动光栅附着在微谐振器的质量块下方，可动光栅下方的衬底设有固定光栅，盖帽对应驱动框架四周处设有第一通孔，集成光源设有第二通孔；集成光电转换器上对称设有第二反射面，两个第二反射面外侧分别设有集成光电二极管，相邻两个第二发射面和集成光电二极管之间设有第二光路。本发明测量精度和集成度高、体积小、实用性强。

主权项

1.一种基于纳米光栅的单片集成陀螺仪，其特征在于，由上至下依次包括：集成光源(1)、带纳米光栅的微谐振器(2)和集成光电转换器(3)；所述集成光源上对称设有第一反射面(13)，两个第一反射面外侧分别设有光源(11)，相邻两个第一发射面和光源之间设有第一光路(12)；带有纳米光栅的微谐振器由上至下包括盖帽(21)、微谐振器(22)和衬底(23)，微谐振器为双质量块结构微谐振器，包括质量块、驱动框架(27)和解耦梁结构，驱动框架设在质量块外围，解耦梁结构与质量块和驱动框架连接，可动纳米光栅(24)附着在谐振器的质量块下表面，可动纳米光栅下方的衬底上设有固定光栅(25)，盖帽对应驱动框架四周处设有第一通孔(26)，集成光源设有与第一通孔数量相等且位置对应的第二通孔(14)；集成光电转换器上对称设有第二反射面(33)，两个第二反射面外侧分别设有集成光电二极管(31)，相邻两个第二发射面和集成光电二极管之间设有第二光路(32)。