[发明专利]一种多晶硅还原炉还原过程能耗预测方法、系统有效
| 申请号： | 201810529750.6 | 申请日： | 2018-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN108563913B | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 杨海东;肖云;朱成就 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | G06F30/20 | 分类号： | G06F30/20;G06K9/62;G06Q10/04 |
| 代理公司： | 佛山市禾才知识产权代理有限公司 44379 | 代理人： | 梁永健;单蕴倩 |
| 地址： | 510006 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅还原炉还原过程能耗预测方法、系统，步骤一，由相似时段的能耗历史数据构建成训练样本和测试样本，步骤二，建立LS‑SVM算法的目标函数；步骤三，训练出能耗预测模型；步骤四，进行还原过程能耗预测。基于D‑S融合LS‑SVM算法即综合了D‑S和LS‑SVM的优点又避免了二者的一些不足。一方面，用选出的相似时段能耗数据作为LS‑SVM的训练样本，克服了LS‑SVM算法的噪音干扰。另一方面，利用LS‑SVM的原理，可以很好的实现复杂的映射，获得能耗曲线的规律。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 还原 过程 能耗 预测 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅还原炉还原过程能耗预测方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一，采集多晶硅还原炉的能耗历史数据，然后上位机通过D‑S理论证据筛选出与待预测时段差异度最小的相似时段，由相似时段的能耗历史数据构建成训练样本和测试样本；步骤二，根据多晶硅还原炉的生产经验，确定LS‑SVM算法的可调参数C和标准化参数σ，建立LS‑SVM算法的目标函数；步骤三，上位机利用LS‑SVM算法，通过训练样本和测试样本训练出能耗预测模型；步骤四，上位机通过能耗预测模型对生产中的多晶硅还原炉的待预测时段进行还原过程能耗预测。
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