[发明专利]一种基于差动补偿的光电自准直装置及方法在审

专利信息
申请号: 201810516238.8 申请日: 2018-05-25
公开(公告)号: CN108592825A 公开(公告)日: 2018-09-28
发明(设计)人: 程灏波;郭延;文永富 申请(专利权)人: 北京理工大学深圳研究院
主分类号: G01B11/26 分类号: G01B11/26
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518057 广东省深圳市南*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及精密仪器制造和测试计量技术领域,具体公开了一种基于差动补偿的光电自准直装置及方法。该装置包括光源、小孔光阑、第一分光棱镜、准直物镜、差动补偿器、待测平面镜、CCD图像传感器。本装置采用的差动补偿器能克服已有装置和方法中的不足,使得参考光束和测量光束在空间上足够靠近,因此两束光中的漂移是近似相同的,差分后可有效减小示值漂移,具有较高的测量精度和抗干扰能力。
搜索关键词: 差动补偿 漂移 自准直装置 测试计量技术 抗干扰能力 参考光束 测量光束 分光棱镜 精密仪器 小孔光阑 准直物镜 平面镜 减小 光源 近似 测量 制造
【主权项】:
1.一种基于差动补偿的光电自准直装置,包括光源、小孔光阑、第一分光棱镜、准直物镜、差动补偿器、待测平面镜、CCD图像传感器,其特征在于,差动补偿器由第二分光棱镜和参考平面镜组成。
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