[发明专利]一种带有蒸发源的设备及安全控制方法在审
| 申请号： | 201810503126.9 | 申请日： | 2018-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN108385065A | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | 李春玉 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 邢惠童 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种带有蒸发源的设备及安全控制方法，属于机械设备领域。该设备包括：与蒸发源通过公接头、母接头连通的管线，以及安全装置。其中，安全装置用于在公接头、母接头断开后，使蒸发源停止作业。本发明提供的带有蒸发源的设备，通过设置安全装置，可以使公接头、母接头在断开后，蒸发源停止作业，避免了工作人员在更换蒸发源的过程中误启动蒸发源，使其进行加热工作，从而产生安全事故。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发源 安全装置 公接头 母接头 安全控制 断开 机械设备领域 安全事故 误启动 加热 连通 | ||
【主权项】：
1.一种带有蒸发源的设备，包括：与蒸发源通过公接头(1)、母接头(2)连通的管线，其特征在于，所述设备还包括：用于在所述公接头(1)、所述母接头(2)断开后，使所述蒸发源停止作业的安全装置。
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