[发明专利]用于测量磁场强度的设备在审
| 申请号： | 201810502217.0 | 申请日： | 2018-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN109765508A | 公开（公告）日： | 2019-05-17 |
| 发明（设计）人： | 牛宝华;应继锋 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R33/10 | 分类号： | G01R33/10;G01R33/032 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 顾伯兴 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本揭露提供一种用于测量磁场强度的设备。所述设备包括：载台，上面放置有待测量样本；悬臂，具有尖端；光学系统，具有光源及光接收器；以及微波功率源。所述尖端是具有氮空位缺陷的金刚石尖端。所述光学系统被配置成使得来自所述光源的激发光聚焦在所述金刚石尖端处。所述悬臂被配置为同轴微波天线，来自所述微波功率源的微波经由所述同轴微波天线被供应到所述金刚石尖端。 | ||
| 搜索关键词： | 金刚石尖端 同轴微波天线 微波功率源 测量磁场 光学系统 悬臂 光源 测量样本 光接收器 氮空位 激发光 配置 载台 微波 聚焦 | ||
【主权项】：
1.一种用于测量磁场强度的设备，其特征在于，包括：载台，上面放置有待测量样本；悬臂，具有尖端；光学系统，具有光源及光接收器；以及微波功率源，其中：所述尖端是具有氮空位缺陷的金刚石尖端，所述光学系统被配置成使得来自所述光源的激发光聚焦在所述金刚石尖端处，且所述悬臂被配置为同轴微波天线，来自所述微波功率源的微波经由所述同轴微波天线被供应到所述金刚石尖端。
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