[发明专利]一种单晶硅片生产装置及方法

摘要

本发明公开了一种单晶硅片生产装置，它包括上料机构(1)、限位机构(2)、切割装置(3)和清洗装置(4)，上料机构(1)包括承载台(5)、水平油缸(6)和压板(7)，承载台(5)的顶部开设有半圆形凹槽(8)，水平油缸(6)平行于半圆形凹槽(8)且固定安装于承载台(5)的顶部，压板(7)固设于水平油缸(6)活塞杆上；限位机构(2)位于上料机构(1)的左侧，限位机构(2)包括平台(9)、导向套、顶杆和锁紧螺钉(12)，平台(9)与承载台(5)相对立设置，导向套(10)固设于平台(9)顶部，本发明的技术特点为：能够生产不同厚度单晶硅片、提高单晶硅片清洗质量、防止单晶硅片附着于切刀上、循环利用碱液。

主权项

1.一种单晶硅片生产装置，其特征在于：它包括上料机构(1)、限位机构(2)、切割装置(3)和清洗装置(4)，所述上料机构(1)包括承载台(5)、水平油缸(6)和压板(7)，所述承载台(5)的顶部开设有半圆形凹槽(8)，水平油缸(6)平行于半圆形凹槽(8)且固定安装于承载台(5)的顶部，压板(7)固设于水平油缸(6)活塞杆上；所述限位机构(2)位于上料机构(1)的左侧，限位机构(2)包括平台(9)、导向套(10)、顶杆(11)和锁紧螺钉(12)，平台(9)与承载台(5)相对立设置，导向套(10)固设于平台(9)顶部，顶杆(11)滑动安装于导向套(10)内，顶杆(11)与半圆形凹槽(8)的轴线同轴设置，锁紧螺钉(12)螺纹连接于导向套(10)的顶部，锁紧螺钉(12)贯穿导向套(10)且抵压于顶杆(11)上；所述切割装置(3)包括空压机(13)、设置于承载台(5)上方的龙门架(14)、设置于龙门架(14)底部的垂向油缸(15)，垂向油缸(15)的活塞杆上固设有切刀(16)，切刀(16)位于承载台(5)和顶杆(11)的右端部之间，龙门架(14)的底部还设置有支架(17)，支架(17)上设置有出气管(18)，出气管(18)位于切刀(16)的右侧，出气管(18)与空压机(13)的出口端经管道连接；所述清洗装置(4)位于切刀(16)的下方，清洗装置(4)包括槽体(19)、前油缸(20)、后油缸(21)、过滤器(22)和设置于槽体(19)内的过滤网(23)，所述过滤网(23)的两端向上延伸于槽体(19)的顶部且延伸端经螺钉固定于槽体(19)上，所述槽体(19)的前后侧分别设置有前油缸(20)和后油缸(21)，前油缸(20)和后油缸(21)的活塞杆均铰接于槽体(19)的外壁上，所述过滤器(22)的入口端连接有软管(24)，软管(24)的另一端与过滤网(23)和槽体(19)底部形成的腔体连通，所述槽体(19)的侧壁上开设有进气孔(25)。