[发明专利]中测台及台上的喷墨式打点标记机在审
| 申请号: | 201810496925.8 | 申请日: | 2018-05-22 |
| 公开(公告)号: | CN108387840A | 公开(公告)日: | 2018-08-10 |
| 发明(设计)人: | 季建松;何志强 | 申请(专利权)人: | 江阴佳泰电子科技有限公司 |
| 主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28 |
| 代理公司: | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人: | 沈淼 |
| 地址: | 214400 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本发明属于中测台领域,旨在提供一种中测台及台上的喷墨式打点标记机,其技术方案要点是包括标记装置,所述标记装置包括连接于台面上的用于向待标记零件喷出标记的喷墨头、与喷墨头相连通的气泵,所述喷墨头指向待标记零件,所述喷墨头内存储有能够被气泵挤出的墨液。在检测待标记零件,如晶圆片时,晶圆片被放置在中测台上,按坐标移动每一颗待测试芯片,已测芯片被分为合格品和不合格品,其中,不合格品需做标记,喷墨头向不合格芯片喷出墨液,对其进行标记。由于喷墨无需时间间隔,能够连续出墨,或保持出墨状态,移动晶圆片,即能够快速连续标记相邻的不合格待测试芯片,以此缩短标记时间、提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词: | 喷墨头 标记零件 待测试芯片 标记装置 不合格品 标记机 晶圆片 喷墨式 墨液 喷出 气泵 打点 合格品 技术方案要点 工作效率 合格芯片 连续标记 坐标移动 晶圆 指向 存储 挤出 芯片 检测 移动 | ||
【主权项】:
1.一种中测台上的喷墨式打点标记机,包括标记装置(1),其特征是:所述标记装置(1)包括连接于台面上的用于向待标记零件喷出标记的喷墨头(2)、与喷墨头(2)相连通的气泵(3),所述喷墨头(2)指向待标记零件,所述喷墨头(2)内存储有能够被气泵(3)挤出的墨液。
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