[发明专利]一种多功能真空镀膜机有效

专利信息
申请号: 201810496829.3 申请日: 2018-05-22
公开(公告)号: CN108588671B 公开(公告)日: 2020-03-24
发明(设计)人: 柳一民;王静辉 申请(专利权)人: 桑尼光电技术(安徽)有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56;C23C14/24
代理公司: 合肥顺超知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 34120 代理人: 谢永
地址: 243000 安徽省马鞍山市雨山*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 一种多功能真空镀膜机,包括真空镀膜机本体、控制面板、迅速降温装置、补气管、补气箱、抽气管、抽气箱、扩散泵、罗茨泵、机器泵、抽气除尘器、抽气空气泵、补气除尘器、补气空气泵,所述迅速降温装置包括框体、水槽、入水塞、海绵金属网、散热风扇、进风口,所述控制面板设置于所述真空镀膜机本体的左侧,所述迅速降温装置设置于所述真空镀膜机本体的右侧,所述补气箱通过所述补气管与所述真空镀膜机本体内部连通,所述抽气箱通过所述抽气管与所述真空镀膜机本体连接,本发明结构简单,操作方便,功能齐全,能够保持真空室内无尘环境,而且能够对镀膜机内部快速降温,提高工作效率,设置有密封圈可以防止气体的泄漏。
搜索关键词: 一种 多功能 真空镀膜
【主权项】:
1.一种多功能真空镀膜机,其特征在于:包括真空镀膜机本体(1)、控制面板(2)、迅速降温装置(3)、补气管(4)、补气箱(5)、抽气管(6)、抽气箱(7)、扩散泵(8)、罗茨泵(9)、机器泵(10)、抽气除尘器(11)、抽气空气泵(12)、补气除尘器(13)、补气空气泵(14),所述迅速降温装置(3)包括框体(301)、水槽(302)、入水塞(303)、海绵金属网(304)、散热风扇(305)、进风口(306),所述控制面板(2)设置于所述真空镀膜机本体(1)的左侧,所述迅速降温装置(3)设置于所述真空镀膜机本体(1)的右侧,所述补气箱(5)通过所述补气管(4)与所述真空镀膜机本体(1)内部连通,所述抽气箱(7)通过所述抽气管(6)与所述真空镀膜机本体(1)连接,所述机器泵(10)与所述抽气管(6)连接,所述罗茨泵(9)与所述机器泵(10)连接,所述抽气除尘器(11)的一端与所述抽气管(6)连接,另一端与所述抽气空气泵(12)连接,所述抽气除尘器(11)和所述抽气空气泵(12)都设置于所述抽气箱(7)内,所述补气除尘器(13)和所述补气空气泵(14)都设置于所述补气箱(5)内,所述补气除尘器(13)通过所述补气管(4)与所述真空镀膜机本体(1)内部连通,所述补气空气泵(14)与所述补气除尘器(13)连接,所述水槽(302)设置于所述框体(301)的底部,所述入水塞(303)设置于所述水槽(302)上,所述海绵金属网(304)的顶端与所述框体(301)顶端连接,底端与所述水槽(302)底端连接,所述散热风扇(305)设置于所述海绵金属网(304)的后方,所述进风口(306)设置于所述框体(301)的左右两侧。
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