[发明专利]一种压力传感单元及压力传感器、压力传感装置有效
| 申请号： | 201810486991.7 | 申请日： | 2018-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN108731855B | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | 王庆贺;王东方;周斌;赵策;苏同上;程磊磊;张扬;李广耀 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16;G01L9/08 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种压力传感单元及压力传感器、压力传感装置，涉及电子技术领域，能够进行高灵敏度的压力传感；该压力传感单元包括设置于第一基板和第二基板之间垂直薄膜晶体管；垂直薄膜晶体管包括：依次沿第一基板到第二基板方向上依次设置的第一极、半导体有源层、第二极、绝缘支撑体、栅极；其中，栅极与第二极之间通过绝缘支撑体形成空气间隙层。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感单元 垂直薄膜晶体管 压力传感装置 绝缘支撑体 压力传感器 第二基板 第一基板 半导体有源层 电子技术领域 空气间隙层 高灵敏度 压力传感 依次设置 第一极 | ||
【主权项】：
1.一种压力传感单元，其特征在于，包括设置于第一基板和第二基板之间垂直薄膜晶体管；所述垂直薄膜晶体管包括：依次沿所述第一基板到所述第二基板方向上依次设置的第一极、半导体有源层、第二极、绝缘支撑体、栅极；其中，所述栅极与所述第二极之间通过所述绝缘支撑体形成空气间隙层。
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