[发明专利]一种微传感器、制备及其使用方法有效
| 申请号： | 201810480421.7 | 申请日： | 2018-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN108896458B | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 李昕欣;包宇洋;于海涛;蔡晟然 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01N15/06 | 分类号： | G01N15/06 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所 31233 | 代理人： | 宋缨 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种微传感器、制备及其使用方法，通过微传感器的进气口及位于空腔内部的具有特定间隙大小的微过滤栅，能够筛选并捕获待测气体中特定直径范围内的微颗粒物，并通过谐振式微悬臂梁测量捕获的微颗粒物的质量，从而获得微颗粒物浓度等环境信息；设备体积小，便于现场分析、适用范围广，能有效捕获待测气体中微米级及亚微米级杂质微粒。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 传感器 制备 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
1.一种微传感器，其特征在于，包括：芯片衬底，所述芯片衬底中包含进气口及出气口；谐振式微悬臂梁，所述谐振式微悬臂梁自所述芯片衬底向外延伸预设距离，内部包含微流道及与所述微流道相连接的空腔，所述微流道及空腔的高度不小于所述进气口的宽度；其中，所述微流道延伸至所述芯片衬底中并与所述进气口及出气口相连接，所述空腔内设置有微过滤栅，所述微过滤栅与所述空腔内壁之间的间隙不大于所述微过滤栅自身的间隙，且所述微过滤栅自身的间隙小于所述进气口的宽度。
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