[发明专利]一种结合紫外光和红外光的激光器及其生产工艺有效
申请号: | 201810461625.6 | 申请日: | 2018-05-15 |
公开(公告)号: | CN108767657B | 公开(公告)日: | 2020-05-08 |
发明(设计)人: | 李锋;吉爱华;叶浩文;叶思瑶 | 申请(专利权)人: | 深圳市光脉电子有限公司 |
主分类号: | H01S5/34 | 分类号: | H01S5/34;H01S5/343 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518100 广东省深圳市宝安*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供了一种结合紫外光和红外光的激光器及其生产工艺,通过将红外光和紫外光一起应用于激光器中,可以满足激光器在多种领域内使用,紫外光具有生理作用,能杀菌、消毒、治疗皮肤病和软骨病等。紫外光中的粒子性较强,能使各种金属产生光电效应。红外光可以高温杀菌,同样具有治疗功能,将两者结合起来,可以广泛应用于军事、医学等多种特殊领域;同时,由于ALN薄膜板与ALN衬板都是ALN同一材料,适配性好,无缺陷,且由于共晶焊层AuSnALBSb,加之SeLiZnSiInGaN/GaN量子阱层内参杂有Se、Li、Zn、Si,BLiALGaAs/BLiInGaAs‑QW有源层内参杂有Li、B,增加了SeLiZnSiInGaN/GaN量子阱层和BLiALGaAs/BLiInGaAs‑QW有源层的厚度,大大提高了粒子被激发的几率,使紫外光与红外光效率都得到显著的提高。 | ||
搜索关键词: | 一种 结合 紫外 光和 红外光 激光器 及其 生产工艺 | ||
【主权项】:
1.一种结合紫外光和红外光的新型激光器,其特征在于,包括ALN薄膜板,所述ALN薄膜板上表面设有MOCVD设备,所述MOCVD设备内包括两并列设置的紫外腔室和红外腔室;所述紫外腔室内从下到上依次设有共晶焊层、ALN衬板、钛层、AIGaN过渡层、N‑GaN接触层、SeLiZnSiInGaN/GaN量子阱、P‑GaN接触层、GaP过渡层、Sb/Au接触层、金属层以及模顶硅胶层,所述共晶焊层同时位于所述ALN薄膜板上表面,所述共晶焊层与所述ALN薄膜板之间设有焊盘,所述焊盘上设有线路,所述金属层上设有金线;所述红外腔室内从下到上依次设有共晶焊层、ALN衬板、GaAs层、N‑GaAs过渡层、N‑InGaAs/GaAs‑DBR层、BLiAIGaAs/BliInGaAs‑QW有源层、P‑AIGaAs/GaAs‑DBR层、P‑AIGaAs/GaAs过渡层、Sb/Au接触层、金属层以及模顶硅胶层,所述共晶焊层同时位于所述ALN薄膜板上表面,所述共晶焊层与所述ALN薄膜板之间设有焊盘,所述焊盘上设有线路,所述金属层上设有金线。
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