[发明专利]一种霍尔离子源的导磁导流结构在审
| 申请号： | 201810460061.4 | 申请日： | 2018-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN108735562A | 公开（公告）日： | 2018-11-02 |
| 发明（设计）人： | 李雪高 | 申请（专利权）人： | 东莞市长益光电有限公司 |
| 主分类号： | H01J27/02 | 分类号： | H01J27/02 |
| 代理公司： | 东莞市冠诚知识产权代理有限公司 44272 | 代理人： | 刘花 |
| 地址： | 523000 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种霍尔离子源的导磁导流结构，包括有从下至上依次设置的进气绝缘碗、过气导磁盘和出气导磁碗，进气绝缘碗和过气导磁盘之间设置有下腔室，过气导磁盘和出气导磁碗之间设置有上腔室；进气绝缘碗设置有与下腔室连通的进气孔，过气导磁盘设置有连通下腔室和上腔室的过气孔，出气导磁碗设置有与上腔室连通的出气孔；气体从进气孔进入下腔室，经过气孔进入上腔室，最后从出气孔出去。本发明中，过气导磁盘和出气导磁碗之间设置有上腔室，使磁感线束缚一部分在上腔室内部，提高上腔室内的磁感线密度，进而增大上腔室内的磁场强度；结构简单，生产成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 导磁盘 上腔室 出气 导磁碗 下腔室 绝缘碗 进气 上腔 连通 霍尔离子源 导流结构 出气孔 进气孔 导磁 室内 生产成本低 依次设置 磁感线 过气孔 室内部 磁场 束缚 | ||
【主权项】：
1.一种霍尔离子源的导磁导流结构，其特征在于：包括有从下至上依次设置的进气绝缘碗、过气导磁盘和出气导磁碗，所述进气绝缘碗和过气导磁盘之间设置有下腔室，所述过气导磁盘和出气导磁碗之间设置有上腔室；所述进气绝缘碗设置有与所述下腔室连通的进气孔，所述过气导磁盘设置有连通所述下腔室和上腔室的过气孔，所述出气导磁碗设置有与所述上腔室连通的出气孔；气体从进气孔进入下腔室，经过气孔进入上腔室，最后从出气孔出去。
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