[发明专利]基板检查装置、检查辅具以及基板检查方法在审
| 申请号： | 201810456544.7 | 申请日： | 2018-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN108919038A | 公开（公告）日： | 2018-11-30 |
| 发明（设计）人： | 山下宗宽 | 申请（专利权）人： | 日本电产理德株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/04 | 分类号： | G01R31/04;G01R19/155 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 黄纶伟;韩香花 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供基板检查装置、检查辅具以及基板检查方法。基板检查装置用于检查形成有透明电极(13)和第一连接电极(14)的触摸面板(100)，第一连接电极(14)以在厚度方向上与透明电极(13)重叠的方式与透明电极(13)接合，基板检查装置包括：检测电极(31)，在透明电极(13)与第一连接电极(14)的接合部中的比第一连接电极(14)靠透明电极(13)侧的位置处与接合部相对配置；检测电极(21)，在接合部中的比透明电极(13)靠第一连接电极(14)侧的位置处与接合部相对配置；电流供给部(4)，向接合部供给电流；以及电压检测部(5)，对检测电极(31)与检测电极(21)之间的电位差进行检测。 | ||
| 搜索关键词： | 透明电极 连接电极 接合部 基板检查装置 检测电极 基板检查 相对配置 位置处 辅具 电位差 电流供给部 电压检测部 触摸面板 供给电流 检查 接合 检测 | ||
【主权项】：
1.一种基板检查装置，其用于检查形成有导电性的第一主电极和导电性的第一连接电极的基板，所述第一连接电极以在厚度方向上与所述第一主电极重叠的方式与所述第一主电极接合，所述基板检查装置包括：第一检测电极，其在所述第一主电极与所述第一连接电极的接合部中的比所述第一连接电极靠所述第一主电极侧的位置处与该接合部相对配置；第二检测电极，其在所述接合部中的比所述第一主电极靠所述第一连接电极侧的位置处与该接合部相对配置；电流供给部，其向所述接合部供给电流；以及电压检测部，其对所述第一检测电极与所述第二检测电极之间的电位差进行检测。
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