[发明专利]一种石墨烯制备装置及应用该装置图案化生长石墨烯的方法

摘要

本发明涉及一种石墨烯制备装置及应用该装置图案化生长石墨烯的方法，该装置包括：下工作台支架、加热器A、下工作台、夹具、上工作台、加热器B、上工作台调节机构、加热器C、进气法兰、排气法兰（10）、腔体外层、腔体保温层、腔体内层、进样门；利用该装置的石墨烯生长方法为：装置下方载片负载液体金属催化剂，装置上方工作台装载生长基底和图案化模板，催化剂载片、基底和生长环境独立控制加热温度，利用低压或常压化学气相沉积过程在基底上生长完整连续或图案化的石墨烯层；本装置和方法可以在多种非金属基底上低温生长图案化石墨烯薄膜，避免了转移、光刻、微加工等复杂器件制备工序，有利于简单石墨烯功能材料和器件的批量生产。

主权项

1.一种石墨烯制备装置，包括中空腔体（19），其特征在于，所述中空腔体（19）外壳由外至内依次为腔体外层（11）、腔体保温层（12）和腔体内层（13）；所述中空腔体（19）沿横轴线的一侧设有进气法兰（9），与进气法兰（9）对应的中空腔体（19）的另一侧设有排气法兰（10）；与排气法兰（10）所在的中空腔体（19）面垂直的一面处连有相匹配的进样门（14）；腔体外层（11）与进样门（14）之间设有铜垫片（15）；所述中空腔体（19）内部沿纵轴线设有对应的上工作台（5）和下工作台（3），上工作台（5）内设有加热器B（6）并通过上工作台调节机构（7）与中空腔体（19）内壁相连；上工作台（5）沿下工作台（3）的表面设有夹具（4）；下工作台（3）内部设有加热器A（2），并通过下工作台支架（1）与中空腔体（19）内壁相连；与下工作台支架（1）对应的中空腔体（19）的腔体保温层（12）内和与上工作台调节机构（7）对应的中空腔（19）的腔体保温层（12）内均设有加热器C（8）。